国家/地区 | 美国(4) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C026/00(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(5) |
申请年 |
2014(6)![]() |
专利权人 |
WEISSBECKER V, LEHNERT W, REIMER U, WEI SZLIG BECKER V, REINERT W
LIN X, WEI H, LIU P, ZHANG L, JIANG K, FAN S
AHN S I, KUK J K, DONG G K, HAN G J
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S, BOEHM H L M, BOEHM H, VAN DER WEIJDE D, BOHM H L M, BOHM S
HASEGAWA M, KATO R, TSUGAWA K, ISHIHARA M, OKIKAWA Y, YAMADA T