国家/地区 中国(46) 美国(21) 世界知识产权组织(21) 韩国(13) 日本(10) 台湾(9) 欧洲专利局(EPO)(6) 英国(4) 德国(3) 印度(2) 俄罗斯(2)
IPC部 C(94)
IPC大类 C01(94)
IPC小类 C01B(94)
IPC C23C016/26(50) C01B032/186(41) C01B032/194(27)
C01B032/184(21) C23C016/02(14) C23C016/56(13)
B82Y030/00(11) B82Y040/00(10) C23C016/44(10)
C22C001/10(6) C23C014/06(6) C23C016/54(6)
H01L021/02(6) H01L021/205(6) H01L021/285(6)
发明人 DUAN Y(5) LI X(5) LI Z(5)
MATSUMOTO T(5) SHAO L(5) SHI H(5)
ZHANG Y(5) CHEN Y(4) DIXON S(4)
GUINEY I(4) HUANG D(4) IFUKU R(4)
LI Y(4) WADA M(4) CHEN Q(3)
公开年 2022(94)
申请年 2022(45)  2021(44)  2020(5) 
专利权人 TOKYO ELECTR.(6) CHINESE ACAD.(5) CHONGQING GR.(5) PARAGRAF LTD(4)
CHANGZHOU SI.(3) APPLIED MATE.(2) CRRC IND RES.(2) DAEJOO ELECT.(2)
JIANGSU JIAN.(2) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV BARILAN(2)