国家/地区 |
美国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)
G01(4)
G02(2)
H01(2) |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C01B032/182(2)
C01B032/186(2)
H01L029/16(2)
|
发明人 | |
公开年 |
2022(6)![]() |
申请年 |
2021(6)![]() |
专利权人 |
WOO Y S, KIM D J, HONG B H, YU Y S, KIM D
LAPKA J, SAMIA A J, NOLTING D D, CHARLTON W S
SALTER S C, BUTTOLO P, DELLOCK P K, GALL R, CHASCSA J R, RICHARD G
ISLAM R, RUSU S, SONG W, ISLAM M R