国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) G01(4) G02(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C01B032/182(2) C01B032/186(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2022(6)
申请年 2021(6)
专利权人