国家/地区 日本(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C01(7) C23(7) H01(7)
B32(4) B82(2)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C014/06(7)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2013(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(2)