国家/地区 美国(6) 韩国(3)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人 CHOI J(6)
公开年 2012(2)
申请年 2012(3) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(6)