| 国家/地区 | 日本(6) 美国(3) |
| IPC部 |
C(6)
B(5)
H(5)
|
| IPC大类 |
C01(6)
|
| IPC小类 |
C01B(6)
|
| IPC |
B82Y030/00(3)
B82Y040/00(3)
C01B031/02(3)
C01B032/184(3) C23C016/26(3) H01L029/786(3) H01L051/05(3) H01L051/30(3) C23C014/06(2) H01L021/205(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2) |
| 发明人 | YAMAGUCHI J(2) |
| 公开年 | |
| 申请年 | 2012(2) 2019(2) |
| 专利权人 |
FUJITSU LTD(6)
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