国家/地区 日本(6) 美国(3)
IPC部 C(6) B(5) H(5)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC B82Y030/00(3) B82Y040/00(3) C01B031/02(3)
C01B032/184(3) C23C016/26(3) H01L029/786(3)
H01L051/05(3) H01L051/30(3) C23C014/06(2)
H01L021/205(2) H01L029/06(2) H01L029/16(2)
发明人 YAMAGUCHI J(2)
公开年
申请年 2012(2)  2019(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(6)