国家/地区 |
中国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C01B031/04(2)
C01B032/186(2)
C23C016/56(2)
|
发明人 |
ZHANG H(5)![]() |
公开年 | 2017(2) |
申请年 | 2017(2) |
专利权人 |
Device used e.g. for etching continuous substrate and graphene comprises feeding and etching device.
ZHANG H, LI T, TAN H
LOEBLEIN M, TSANG S H, TEO H T E, TSANG S, ZHANG H
CHEN Z, LI X, SUI Y, WANG B, ZHANG H, ZHANG Y, YU G