国家/地区 美国(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/06(12)
发明人 NAGEL C J(5) BRODEUR C L(4) SHIN H(2)
公开年 2021(4) 2014(3) 2022(2)
申请年 2020(3)  2016(2)  2022(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(5) SAMSUNG ELEC.(2) UNIV SUNGKYU.(2)