国家/地区 美国(12)
IPC部 B(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/52(12)
发明人 NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3)
公开年 2013(3) 2021(3) 2016(2)
申请年 2013(3)  2015(2)  2020(2) 
专利权人 QUANTUM ELEM.(4)