国家/地区 |
美国(12)![]() |
IPC部 |
B(12)![]() |
IPC大类 |
C01(12)![]() |
IPC小类 |
C01B(12)![]() |
IPC |
C23C016/52(12)![]() |
发明人 | NAGEL C J(4) BRODEUR C L(3) |
公开年 | 2013(3) 2021(3) 2016(2) |
申请年 | 2013(3) 2015(2) 2020(2) |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(4) |
BOUCHIAT V, CORAUX J, HAN Z
WU M Y, HSIEH C, PENG C, WU Y, XIE C, HSIEH C Y, PENG C S
NISHIDE D, MATSUMOTO T, KAGAYA M, IFUKU R
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K