国家/地区 |
日本(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2021(2) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I
NISHIDE D, MATSUMOTO T, KAGAYA M, IFUKU R
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
MALECKI H C, DAHNE J L, LOEBACH J P, GAIGLER R L, LEDFORD J T, MALECKI H, DAHNE J, LOEBACH J, GAIGLER R, LEDFORD J