国家/地区 美国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C23C016/54(8)
发明人
公开年 2013(2) 2014(2) 2018(2)
申请年 2013(3)  2017(3)  2012(2) 
专利权人 HANWHA TECHW.(3) SAMSUNG TECH.(3) HANWHA AEROS.(2)