国家/地区 美国(7) 中国(5) 欧洲专利局(EPO)(5) 世界知识产权组织(5) 日本(4) 韩国(4) 加拿大(2) 新加坡(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 C01(7)
IPC小类 C01B(7)
IPC C23C016/56(7)
发明人 BEDWORTH P V(2) HEISE S E(2) SINTON S W(2)
SWETT J L(2)
公开年 2017(7)
申请年 2016(6) 
专利权人 LOCKHEED MAR.(2)