国家/地区 |
中国(11)![]() |
IPC部 |
B(11)![]() |
IPC大类 |
C01(11)![]() |
IPC小类 |
C01B(11)![]() |
IPC |
C23C028/00(11)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(2) 2016(2) 2017(2) 2021(2) |
申请年 | 2016(3) 2013(2) 2017(2) |
专利权人 |
YOO H, KIM J, BAEK J, BYEON C, YOO H J, SU K J, BAEK J H, BYEON C S, BAI J, LIU H
ZHANG K, SONG R, LIU P, LI W, CHEN X, MA F, HE D, LIU X
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S
YU Y, HU Y, SUN T, YANG J, WEI D, SHI H, DU C
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
WANG W, GUO S, OZKAN C S, OZKAN M
BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J