国家/地区 中国(11)
IPC部 B(11)
IPC大类 C01(11)
IPC小类 C01B(11)
IPC C23C028/00(11)
发明人
公开年 2011(2) 2016(2) 2017(2) 2021(2)
申请年 2016(3)  2013(2)  2017(2) 
专利权人

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J