国家/地区 美国(4) 韩国(3) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/00(6)
发明人
公开年 2013(6)
申请年 2012(5) 
专利权人