国家/地区 美国(9) 中国(6) 韩国(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 世界知识产权组织(4) 台湾(3) 日本(2)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12)
IPC小类 C01B(12)
IPC C23C016/30(12)
发明人 LEE S(2) SEO S(2) SEO S A(2)
ZHANG L(2)
公开年 2015(2) 2016(2) 2021(2)
申请年 2011(2)  2015(2)  2016(2)  2020(2)  2022(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)