国家/地区 韩国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/30(6)
发明人 LEE S(2) SEO S(2) SEO S A(2)
公开年
申请年 2011(2)  2016(2) 
专利权人 SAMSUNG ELEC.(2)