国家/地区 | 美国(6) 中国(3) 韩国(3) |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C014/34(7)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2016(7)![]() |
申请年 | 2016(5) 2015(2) |
专利权人 |
HAM M, SON M, HAM M H, SON M W, XIAN W, SUN M
ZARETSKI A, LIPOMI D J
YAGER T A, ROBINSON J
KU J, KO W, KIM H, KU J Y, KO W H, KIM H W