国家/地区 |
日本(7)![]() |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C014/06(7)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(2) |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 | FUJITSU LTD(2) |
SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, ITO Y, SCHWAB M G S, MILLEN K