国家/地区 日本(5) 韩国(4) 美国(4) 中国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(10)
IPC大类 C01(10)
IPC小类 C01B(10)
IPC C01B031/04(6) C23C016/26(5) C01B032/182(4)
C01B032/194(4) C01B032/15(3) C01B032/18(3)
C23C014/06(3) C01B032/19(2) C01B032/198(2)
H01B013/00(2) H01L029/16(2)
发明人 JANG B Z(2) ZHAMU A(2)
公开年 2017(10)
申请年 2015(10)
专利权人 JANG B Z(2) NANOTEK INST.(2) ZHAMU A(2)