国家/地区 世界知识产权组织(8)
IPC部 C(8) B(4) H(4)
IPC大类 C01(8)
IPC小类 C01B(8)
IPC C01B031/04(7) C01B032/182(6) C23C016/26(6)
C01B031/02(4) C01B032/186(3) B82Y040/00(2)
C01B032/15(2) C01B032/18(2) C23C016/00(2)
C23C016/01(2) C23C016/44(2) C23C016/455(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2015(8)
申请年 2015(8)
专利权人

PENNINGTON D A, CLAYTON A R, JUDA K L, PAUKNER C, KURZEPA L, COOPER R H S J, KOZIOL K K, JOAUG J Y, ST JOHN COOPER R H, ST JOHN C R H