国家/地区 |
世界知识产权组织(7)![]() |
IPC部 |
C(7)![]() |
IPC大类 |
C01(7)![]() |
IPC小类 |
C01B(7)![]() |
IPC |
C23C014/06(3)
C23C016/26(3)
C01B032/15(2)
C01B032/182(2) C01B032/184(2) C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/505(2) H01J037/32(2) H01L021/02(2) |
发明人 | NAVEH D Y(2) |
公开年 |
2023(7)![]() |
申请年 | 2022(4) 2021(3) |
专利权人 | 2D GENERATIO.(2) UNIV BARILAN(2) |
CHO S M, CHO M G, OH H G, CHO M, OHHONGGI
JOUIAD M, EL MARSSI M, LEJEUNE M
ENTERKIN J A, WORFOLK B J, ZHANG L