国家/地区 法国(8)
IPC部 B(8)
IPC大类 B82(8) C01(8) C23(4)
H01(3) B01(2) B81(2)
C25(2) C30(2)
IPC小类 B82Y(8)
IPC B82Y040/00(8) C01B031/04(7) B82Y030/00(6)
C01B031/02(6) C23C016/26(3) B01J023/76(2)
B81C001/00(2) C01B032/184(2) C30B029/36(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人 BACSA R(2) OUERGHI A(2) SERP P(2)
ZENASNI A(2)
公开年 2013(7)
申请年 2011(8)
专利权人 CENT NAT REC.(6) COMMISSARIAT.(3) CNRS CENT NA.(2) INST NAT POL.(2)