国家/地区 欧洲专利局(EPO)(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6) H01(6) B82(5)
C23(3) B01(2) B05(2)
C30(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC H01L021/02(6)
发明人 ZENASNI A(2)
公开年 2013(2)
申请年 2011(2) 
专利权人 COMMISSARIAT.(4)