国家/地区 |
日本(8)![]() |
IPC部 |
B(8)![]() |
IPC大类 |
C01(8)
C23(8)
B82(5)
H01(4) B01(3) C09(2) C30(2) |
IPC小类 |
C01B(8)![]() |
IPC |
C23C016/26(8)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(5) 2016(2) |
申请年 |
2014(8)![]() |
专利权人 |
KAMISHIMA M, WATANABE H, NAGAMUNE T, KATADA A
MATHARU J, THOMAS S, TEO K B K, JOUVRAY A, JOUBEUREI A, MATARU J, TOMASEU S
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
VLASSIOUK I V, IVANOV I N, DATSKOS P G
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
KALAGA M K, BHATTACHARYYA A, DEVI R M, SCHAEFFER J C, PARAKALA P, PABLA S S, SHEFFIELD J C, PALAKARA P, PABRA S S, CARAGA M K, DEVIE R M