国家/地区 日本(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C01(6) C23(6) H01(4)
B01(2) B32(2) C30(2)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6)
发明人
公开年 2016(4) 2015(2)
申请年 2015(6)
专利权人