国家/地区 台湾(12)
IPC部 C(12)
IPC大类 C01(12) H01(8) B82(4)
B01(2) C07(2) C08(2)
C09(2) C23(2) C30(2)
H05(2)
IPC小类 C01B(12)
IPC C01B032/182(7) B82Y040/00(4) B82Y030/00(3)
C01B032/194(3) H01L021/02(3) H01L029/16(3)
H01L029/78(3) C01B032/186(2) C23C016/455(2)
H01L021/336(2) H01L029/10(2)
发明人
公开年 2022(12)
申请年 2022(12)
专利权人 TAIWAN SEMIC.(3)