国家/地区 中国(7) 世界知识产权组织(3) 日本(2) 美国(2)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC C01B032/194(5) C23C016/26(3) C01B031/02(2)
C03B037/022(2) C03C006/02(2) H01L021/20(2)
发明人 GE S(2) JIANG S(2) SHI S(2)
公开年 2017(2) 2019(2) 2021(2)
申请年 2018(2)  2019(2) 
专利权人 ANHUI JUKE G.(2)