国家/地区 美国(24)
IPC部 C(24)
IPC大类 C08(24)
IPC小类 C23C(24)
IPC C08K003/04(9) C23C016/26(9) C01B031/04(8)
B82Y030/00(7) B82Y040/00(6) C01B032/194(5)
C08K003/08(5) B32B009/00(4) C01B032/184(4)
C09D005/24(4) C09D007/40(4) C09D007/61(4)
C23C016/44(4) H01L021/02(4) B32B027/36(3)
发明人 JANG B Z(2) JUNG Y(2) JUNG Y G(2)
KIM J(2) KIM J K(2) KIM J S(2)
LIN Y(2) LIU H(2) LIU X(2)
YOO H(2) YOO H J(2) ZHAMU A(2)
公开年 2021(5) 2014(3) 2016(3) 2019(3) 2013(2) 2015(2) 2018(2)
申请年 2012(4)  2021(4)  2014(3)  2018(3)  2015(2)  2016(2)  2020(2) 
专利权人 FUJITSU LTD(2) NANOTEK INST.(2) POSCO(2)