国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C25(6) H01(6) C01(3)
C23(3)
IPC小类 C25D(6)
IPC C01B031/04(3) C01B032/182(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2015(6)
申请年 2014(4)  2015(2) 
专利权人