国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C30(6) H01(5) C01(2)
IPC小类 C30B(6)
IPC H01L021/02(4) C30B025/18(3) C30B025/16(2)
C30B029/02(2) C30B029/40(2)
发明人
公开年 2023(6)
申请年 2022(6)
专利权人