| 国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(3) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 日本(2) 台湾(2) |
| IPC部 |
C(5)
B(3)
H(3)
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| IPC大类 |
C01(5)
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| IPC小类 |
C23C(5)
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| IPC |
C23C016/44(5)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2015(3) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
KIM K C, OH S A, CHAE Y E, YOON J H, KIM J I
CASTRO A H, OZYILMAZ B, STIER A V, TOH C T, DU Z, CASTRO N A H
BORRELLI N F, FEKETY C R, LIU X, SONG Z
