国家/地区 中国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 C30(7) C01(4) B01(3)
B82(3) H01(3) C23(2)
IPC小类 C30B(7)
IPC B82Y040/00(3) B82Y030/00(2) C30B029/02(2)
C30B029/60(2) C30B029/64(2) H01L021/02(2)
H01L033/00(2)
发明人
公开年 2021(5) 2020(2)
申请年 2020(7)
专利权人