国家/地区 印度(6)
IPC部 B(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC C30B029/02(5) B82Y030/00(4) B82Y040/00(4)
C01B031/04(4) C01B031/02(3) B82B003/00(2)
C01B032/182(2) C01B032/188(2) C23C016/26(2)
C30B025/18(2) H01B001/04(2) H01L021/02(2)
H01L021/20(2)
发明人 VEERASAMY V(3) VEERASAMY V S(3)
公开年 2011(3)
申请年 2009(2) 
专利权人 GUARDIAN GLA.(3) GUARDIAN IND(3) GUARDIAN IND.(3)