国家/地区 中国(30) 美国(17) 世界知识产权组织(12) 日本(8) 韩国(8) 台湾(6) 欧洲专利局(EPO)(4) 波兰(2)
IPC部 C(45)
IPC大类 C30(45) C01(30) C23(19)
H01(15) B82(14) B32(4)
B05(2)
IPC小类 C30B(45)
IPC C30B029/02(28) C01B031/02(19) C01B031/04(17)
C23C016/26(14) C30B025/18(13) B82Y040/00(12)
B82Y030/00(10) C30B025/02(9) H01L021/02(7)
H01L029/16(5) C01B032/186(4) C30B001/02(4)
C30B025/00(4) H01L021/20(4) H01L021/205(4)
发明人 ZHANG Y(11) GUO H(10) ZHANG K(10)
DENG P(7) LEI T(7) CHAI Z(3)
DING G(3) FAN S(3) HAN D(3)
HAO Y(3) KELBER J(3) NING J(3)
TANG X(3) WANG D(3) WEI Y(3)
公开年 2012(22) 2013(18) 2014(5)
申请年 2012(45)
专利权人 UNIV XIDIAN(13) HON HAI PREC.(3) HONGFUJIN PR.(3) UNIV NORTH T.(3)
UNIV TSINGHU.(3) CHINESE ACAD.(2) CHINESE ACAD.(2) KELBER J(2)
WANG H(2)