国家/地区 中国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C23(6)
IPC小类 C23C(6)
IPC H01L021/205(6)
发明人 CHEN Z(2) FAN F Y(2) FAN S(2)
GI Y(2) HAO Y(2) NING J(2)
WANG D(2) WEI Y(2) ZHANG J(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(3) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2) UNIV XIDIAN(2)