国家/地区 |
美国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C30(6)
H01(6)
C01(5)
C23(3) |
IPC小类 |
C30B(6)![]() |
IPC |
C30B029/02(5)
C01B031/04(4)
C23C016/26(3)
C30B025/18(3) H01L021/02(3) C01B031/02(2) C01B032/182(2) C01B032/188(2) C23C016/44(2) C30B001/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 |
2015(6)![]() |
申请年 | 2014(4) |
专利权人 |
STRUDWICK A, SCHWAB M G, MUELLEN K, SACHDEV H, WEBER N, BINDER A, MULLEN K, STRUDWICK A J, WEBER N E
CASTRO A H, OZYILMAZ B, STIER A V, TOH C T, DU Z, CASTRO N A H
BAYRAM C, DIMITRAKOPOULOS C D, FOGEL K E, KIM J, OTT J A, SADANA D K
IACOPI F, AHMED M, CUNNING B V
SINGH G, DAVID L