国家/地区 世界知识产权组织(9)
IPC部 B(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C01B(9)
IPC B82Y040/00(8) B82Y030/00(7) C01B031/04(7)
C30B029/02(7) C01B031/02(6) H01L021/02(4)
C01B032/186(3) H01L029/16(3) C01B032/194(2)
C23C016/26(2) C30B029/64(2) H01B001/04(2)
发明人 KELBER J(2)
公开年 2012(4) 2013(3) 2014(2)
申请年 2012(9)
专利权人 UNIV NORTH T.(2)