国家/地区 英国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C016/26(6) C30B025/18(6) C01B032/186(5)
C23C016/02(4) C30B029/02(4) H01L021/02(4)
C01B031/02(2) C01B031/04(2) C01B032/182(2)
C23C016/455(2)
发明人 DIXON S(3) GUINEY I(3) THOMAS S(2)
公开年 2013(2) 2022(2)
申请年 2021(2) 
专利权人 PARAGRAF LTD(3)