国家/地区 日本(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC C01B031/02(4) C30B025/18(3) C30B029/02(3)
C23C016/26(2) H01L021/20(2) H01L021/205(2)
H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(5)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)