国家/地区 |
世界知识产权组织(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)![]() |
IPC |
C30B025/18(4)
C23C016/26(3)
C30B029/02(3)
C23C016/34(2) C30B025/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 | 2016(2) 2017(2) |
申请年 |
2016(5)![]() |
专利权人 |
LIST F A, STEHLE Y Y, VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N
AOTA NATSUKO, AIDA HIDEO, TACHIBANA MASARU, MORISAKO SHIYO, AOTA N, AIDA H, TACHIBANA M, MORISAKO S
CHEN Z, HAO Y, ZHANG J, LV J, XU S, NING J, REN Z, WANG D, LIN Z