国家/地区 中国(4) 美国(3) 韩国(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5)
IPC H01L021/02(5)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(2)  2021(2) 
专利权人