国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 韩国(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)![]() |
IPC |
H01L021/02(5)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(5)![]() |
申请年 | 2020(2) 2021(2) |
专利权人 |
SHI Z, ZHANG C, ZHU H, WU T, GAO B
LEE C, SHIN H, HONG S, MA K, LEE C S, SUK S H, SHIN H J, LI C, SHEN X
MUNSHI M, WEMAN H, DHEERAJ D L, FIMLAND B M, VIGEN L, BARRIET D, PIMLANDBJOERNOBEEM, WIGGENREIDULPH, DAVID B