国家/地区 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(5)
IPC大类 C30(5)
IPC小类 C30B(5)
IPC C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B025/18(2) C30B029/02(2) H01B005/14(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2023(5)
申请年 2021(5)
专利权人