国家/地区 中国(7)
IPC部 B(7)
IPC大类 B82(7) C30(7) C01(5)
C23(5) H01(4) B32(2)
IPC小类 C30B(7)
IPC B82Y030/00(5) B82Y040/00(5) C01B031/04(5)
C30B029/02(5) C23C016/26(3) C01B031/02(2)
C01B032/186(2) C30B001/02(2) C30B025/18(2)
H01L021/02(2) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2012(5)
申请年 2012(7)
专利权人