国家/地区 |
中国(7)![]() |
IPC部 |
B(7)![]() |
IPC大类 |
B82(7)
C30(7)
C01(5)
C23(5) H01(4) B32(2) |
IPC小类 |
C30B(7)![]() |
IPC |
B82Y030/00(5)
B82Y040/00(5)
C01B031/04(5)
C30B029/02(5) C23C016/26(3) C01B031/02(2) C01B032/186(2) C30B001/02(2) C30B025/18(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2) |
发明人 | |
公开年 | 2012(5) |
申请年 |
2012(7)![]() |
专利权人 |
ZHAMU A, WANG M, XIONG W, JANG B Z
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y
CHIBA YOSHIHIRO, CHIBA Y, YOSHIHIRO C, CHIBA G
DI Z, DING G, GONG Q, LIU Q, WANG H, WANG S, XIE X