国家/地区 中国(9)
IPC部 C(9)
IPC大类 C01(9)
IPC小类 C30B(9)
IPC C01B032/194(4) C30B029/02(3) C01B032/05(2)
C01B032/156(2) C01B032/16(2) C01B032/168(2)
C01B032/184(2) C01B032/186(2) C01B032/198(2)
H01L051/42(2)
发明人 ZHANG S(2)
公开年 2021(5) 2022(4)
申请年 2021(9)
专利权人