国家/地区 欧洲专利局(EPO)(7)
IPC部 C(7)
IPC大类 C30(7) C01(5) B01(3)
C23(3) H01(3) C04(2)
IPC小类 C30B(7)
IPC C30B029/02(4) C01B032/182(2) C01B032/184(2)
C01B032/186(2) C23C016/02(2) C23C016/26(2)
C30B025/18(2) C30B029/38(2) C30B029/64(2)
C30B030/02(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
H01L031/0304(2) H01L031/0352(2) H01L031/18(2)
发明人 FIMLAND B M(2) MANCEVSKI V(2) MUNSHI M(2)
VLADIMIR M(2) WEMAN H(2)
公开年 2021(7)
申请年 2020(7) 
专利权人 CRAYONANO AS(2) UNIVERSAL MA.(2)