国家/地区 世界知识产权组织(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 C30(8)
IPC小类 C30B(8)
IPC C30B029/02(7) C01B031/04(4) C01B032/182(4)
C30B025/18(4) C01B032/186(3) C23C016/26(3)
B82Y040/00(2) C01B031/02(2) C01B032/15(2)
C01B032/18(2) C01B032/194(2) C30B029/60(2)
C30B029/64(2) H01L021/20(2)
发明人
公开年 2016(5) 2015(2)
申请年 2015(8)
专利权人