国家/地区 中国(4) 日本(4) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 美国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(7)
IPC大类 B82(7)
IPC小类 B82Y(7)
IPC B82Y030/00(4) B82Y020/00(3) C01B031/02(3)
G01J001/02(3) B82Y040/00(2) C01B032/184(2)
C09K011/65(2) G01J005/02(2) H01L029/06(2)
H01L029/786(2)
发明人
公开年 2015(2) 2022(2)
申请年 2021(2) 
专利权人