国家/地区 日本(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 G01(6) C01(5) H01(5)
B82(4) B32(2) C07(2)
IPC小类 G01J(6)
IPC C01B031/02(3) G01J001/02(3) B82Y020/00(2)
B82Y030/00(2) C01B031/04(2) C01B032/182(2)
G01J005/02(2) H01L029/06(2) H01L029/786(2)
H01L051/00(2) H01L051/05(2)
发明人
公开年 2015(3)
申请年 2014(2) 
专利权人