国家/地区 |
日本(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
G01(6)
C01(5)
H01(5)
B82(4) B32(2) C07(2) |
IPC小类 |
G01J(6)![]() |
IPC |
C01B031/02(3)
G01J001/02(3)
B82Y020/00(2)
B82Y030/00(2) C01B031/04(2) C01B032/182(2) G01J005/02(2) H01L029/06(2) H01L029/786(2) H01L051/00(2) H01L051/05(2) |
发明人 | |
公开年 | 2015(3) |
申请年 | 2014(2) |
专利权人 |
SPIGONE E, HAQUE S M, KIVIOJA J
CHOW J R, KETOLA K S, LA KOMSKI D M, TOWNSEND C W, ELIAS W E, MARBLE S J, LAKOMSKI D M
KOSHOBU N, DOI Y, YAMADA T, TOKO H