国家/地区 韩国(8)
IPC部 C(8)
IPC大类 G01(8) C01(5) H01(5)
B82(3) B32(2) C07(2)
C08(2) C09(2)
IPC小类 G01J(8)
IPC C01B031/04(3) G01J001/42(3) B82Y020/00(2)
C01B031/02(2) C01B032/182(2) G01J001/02(2)
H01L051/00(2)
发明人
公开年 2022(2)
申请年 2021(3)  2016(2) 
专利权人