国家/地区 中国(5)
IPC部 G(5) H(3)
IPC大类 G01(5) H01(3)
IPC小类 G01J(5)
IPC G01J005/20(4) H01L031/09(3)
发明人 DU C(5)
公开年 2016(4)
申请年 2016(3)  2015(2) 
专利权人 CHINESE ACAD.(5)